半导体设备日常维护与保养的操作要点

1、半导体设备的维护一般分为三种类型：日常点检、定期保养和故障维修。关于这三种，并不是日常点检做得越频繁就一定越好，定期保养和故障维修有时也需要重点关注。判断的唯一标准就是符合设备运行要求。  http://www.75830.com

　　2、差异化维护不同设备有不同的维护要求，即使是同一类型的设备，在不同工序中也可以制定差异化的保养方案。你可以在标准保养流程中加入自己的经验总结，将某些保养步骤进行调整，这就不一样了嘛。再者标准流程没有涉及的检查项你可以补充进去，是不是又造成差异了呢？即使标准流程已经比较完善，你也可以做关键部件的专项检测、性能趋势对比等。再否则你还可以建立设备维护档案。总之、这样处理之后维护工作就不是千篇一律的流程。

　　3、操作体验这里包括有操作界面、参数设置、报警提示、日志记录等，让操作人员感觉便捷的体验就是最好的体验。