半导体设备性能分析让选型更精准
发布日期:2019-10-29 15:33:30浏览次数:151
设备选型分析
当我们在评估客户端的产线需求时,会发现他们的制程中很常见会缺少以下细分环节:
晶圆检测、封装工艺监控(各种工艺参数呈现在他们的记录中)、单项工艺的验证页面。出现这些状况的首要问题是他们没有完整的设备评估体系,工艺在不断更新,描述了接下来的几个星期的时间表和旧的参数记录。为了能更好地进行设备选型分析,契合产线的实际需求,我们需要确定两个首要目标。
1、该设备的首要目的是提升产线良率,而且满足相关的工艺要求;
2、提升产线在工艺水平上的稳定性。
参数比对
客户端需要为每个工序添加可量化的评估指标,同时,我们鼓励客户在评估过程中添加更多的对比维度,在工艺不断更新的背景下,从设备选型的角度分析,参数比对过程中侧重与使更多工序要求被覆盖,实施过的评估内容,在每一项上至少有明确—的数据支撑,评估内容是尽可能客观。