真空泵是通过机械、物理或物理化学等方法对封闭容器进行抽气,从而获得、改善和维持真空环境的设备。通俗地说,凡是能在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置,均可称为真空泵。
按工作原理划分,真空泵主要分为气体捕集泵和气体传输泵两大类,广泛应用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
随着真空应用技术的不断发展,真空泵的种类日益丰富,抽速范围从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升不等。由于不同生产和科研场景对压强范围的要求差异较大,单一类型的真空泵往往难以覆盖全部工作压力范围,需要根据具体工况选用相应类型的真空泵,或将多种真空泵按性能要求组合成机组使用,以满足不同真空工艺过程的需要。
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵种在国民经济各行业的真空工艺过程中发挥着重要作用。近年来,随着下游应用行业持续增长以及真空泵应用领域不断拓展,真空泵行业保持了稳定快速的发展态势。